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標題Title: 微奈米量測技術-碩奈米二甲 王禮國 M99R0106
作者Authors: 王禮國
上傳單位Department: 機械工程系
上傳時間Date: 2011-12-31
上傳者Author: 王禮國
審核單位Department: 機械工程系
審核老師Teacher: 朱志良
檔案類型Categories: 課堂報告In-class Report
關鍵詞Keyword: 光譜式橢圓儀
摘要Abstract: 現階段鍍製薄膜製程技術運用相當廣泛,不論是在電子或微機電之半導體產業以及材料科學都被廣泛的使用,薄膜特性更是與其使用壽命與可靠度息息相關,最直接的影響就是所鍍製薄膜之厚度,所以在薄膜各種檢測中,使用光譜式橢圓儀,以光學技術進行量測,對其光的偏振態靈敏之特性分析,可得到檢測之高準確率。

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