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標題Title: 微奈米量測-雷射干涉儀
作者Authors: 許清雲
上傳單位Department: 機械工程系
上傳時間Date: 2011-12-31
上傳者Author: 許清雲
審核單位Department: 機械工程系
審核老師Teacher: 朱志良
檔案類型Categories: 課堂報告In-class Report
關鍵詞Keyword: 微奈米量測 雷射干涉儀
摘要Abstract: 在工業應用上,高精密定位技術是非常重要的技術,對於高精密定位系統而言,除致動器控制技術外,高精度的量測更是重要的關鍵之一。近二十年來,雷射技術得以迅速的發展,是由於雷射光束具有高亮度、準直性、方向性、同調性之特點,因此在許多方面獲得了廣泛的應用,如雷射割切、加工、掃描、雷射雷達、雷射位移計、雷射干涉儀...,

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2011_12_bbf8bb69.ppt 1574Kb ppt 223 148
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