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標題Title: 微奈米量測技術-白光干涉儀
作者Authors: 劉政良
上傳單位Department: 機械工程系
上傳時間Date: 2011-12-31
上傳者Author: 劉政良
審核單位Department: 機械工程系
審核老師Teacher: 朱志良
檔案類型Categories: 課堂報告In-class Report
關鍵詞Keyword: 微奈米,量測,白光干涉,報告
摘要Abstract: 近年來高科技產業蓬勃發展,在檢測尺度的需求上,由於製造技術的不斷提升,奈米尺寸之微小結構物檢測需求也因應而生,故檢測技術的尺度亦需要提升至奈米等級,才足夠解析產品製程以確保良率。

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2011_12_7bb43c63.ppt 2092Kb ppt 171 240
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