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標題Title: SEM上機實習報告
作者Authors: 許晉維,王者璿..等
上傳單位Department: 機械工程系
上傳時間Date: 2012-1-9
上傳者Author: 許晉維
審核單位Department: 機械工程系
審核老師Teacher: 許藝菊
檔案類型Categories: 課堂作業Class Assignment
關鍵詞Keyword: SEM上機實習報告
摘要Abstract: SEM是用聚焦電子束在試樣表面逐點掃描成像。試樣為塊狀或粉末顆粒,成像信號可以是二次電子、背散射電子或吸收電子。其中二次電子是最主要的成像信號。由電子槍發射的能量為 5 ~ 35keV 的電子,以其交叉斑作為電子源,經二級聚光鏡及物鏡的縮小形成具有一定能量、一定束流強度 和束斑直徑的微細電子束,在掃描線圈驅動下,於試樣表面按一定時間、空間順序作柵網式掃描。聚焦電子束與試樣相互作用,產生二次電子發射(以及其他物理信號),二次電子發射量隨試樣表面形貌而變化。二次電子信號被探測器收集轉換成電訊號,經視頻放大後輸入到顯像管柵極,調製與入射電子束同步掃描的 顯像管亮度,得反映試樣表面形貌的二次電子像。

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2012_1_d931686c.doc 2948Kb doc 255 339
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