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標題Title: 銦鎵鋅氧化物光學與結晶特性之研究
作者Authors: 許博淳
上傳單位Department: 機械工程系
上傳時間Date: 2013-6-11
上傳者Author: 許博淳
審核單位Department: 機械工程系
審核老師Teacher: 劉雲輝
檔案類型Categories: 課堂報告In-class Report
關鍵詞Keyword: 銦鎵鋅氧化物
摘要Abstract: 已溶凝膠法製作銦鎵鋅氧化物,並進一步探討其光學與結晶特性,由IGZO薄膜的製備、膜厚及光學特性分析中發現,多元氧化物薄膜的穿透率在可見光範圍大部分為80%以上。且組成成分明顯改變薄膜能隙。

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2013_6_b351df12.ppt 2493Kb ppt 99 180
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