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標題Title: 三次元接觸式掃描探頭之研製
作者Authors: 許清雲
上傳單位Department: 機械工程系
上傳時間Date: 2013-6-14
上傳者Author: 許清雲
審核單位Department: 機械工程系
審核老師Teacher: 劉雲輝
檔案類型Categories: 課堂報告In-class Report
關鍵詞Keyword: 掃描探頭,三次元量測
摘要Abstract: 近幾十年來,表面工程、光電系統、生物工程領域、半導體產業、精密機械工業…等,皆朝精密、微小化發展。在微小化的製造過程中,更要求精密的製造與檢測技術,尤其在機械元件越做越小的情況下,傳統三次元量測儀已無法滿足需求。

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2013_6_b5198f38.ppt 2042Kb ppt 107 88
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