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標題Title: A Microsystem Monlithically Interating MEMS Sensor, CMOS Circuitry, Self-assembled Cells and Microfluidics 演講心得
作者Authors: 張嘉宗
上傳單位Department: 機械工程系
上傳時間Date: 2009-11-4
上傳者Author: 張嘉宗
審核單位Department: 機械工程系
審核老師Teacher: 呂金塗
檔案類型Categories: 論文Thesis
關鍵詞Keyword: 心得
摘要Abstract: 微機電技術可用來製造許多低成本的感測器和致動器,目前應用微機電技術生產的商業產品有:微加速度計、微陀螺、可變電容、微型繼電器、流量計、生化感測器、噴墨印表機噴頭及諸多可丟棄式醫療用品等等。由於微機電技術除了本身具有多方面的應用外,也關係未來多項關鍵工業的發展,因此各先進國家皆投入大批人力與財力進行研發。

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2009_11_370a710e.doc 30Kb doc 813 160
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