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標題Title: 薄膜檢測技術_橢圓儀實習
作者Authors: 楊明祥,..等
上傳單位Department: 機械工程系
上傳時間Date: 2014-1-2
上傳者Author: 楊明祥
審核單位Department: 機械工程系
審核老師Teacher: 林克默
檔案類型Categories: 課堂作業Class Assignment
關鍵詞Keyword: 薄膜,橢圓儀
摘要Abstract: 一、實驗目的
多角度光譜式橢圓儀,可以量經樣品表面偏振光的變化,能夠量測薄
膜的厚度(t)、折射率(n)、消光係數(k)等。

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