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標題Title: 奈米定位與量測技術期末報告
作者Authors: 徐至凱
上傳單位Department: 機械工程系
上傳時間Date: 2014-1-10
上傳者Author: 徐至凱
審核單位Department: 機械工程系
審核老師Teacher: 朱志良
檔案類型Categories: 課堂報告In-class Report
關鍵詞Keyword: SEM
摘要Abstract: SEM 的工作原理和理論構想在1935 年由德國Knoll 提出,而直到1942 年時第一部實驗用的SEM 才被正式使用。但因成像的解析度不佳,尚須改進,所以在1959 年時出現解析度為10nm 的SEM。直到1965 年,由英國Cambridge 公司才推出第一部商品化的SEM,隨著SEM 的改良使得解析度提高、操作自動化、電腦化以及價格的降低。製作容易、影像解析度高、放大倍率可達104以上,且有景深長的特性,亦可清楚的觀察表面起伏大的物體。因此,SEM 已是功能強大、使用普及的材料分析設備。

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2014_1_c0f2ccf4.doc 2619Kb doc 92 281
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