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標題Title: Study of low temperature poly silicon for solar cells
作者Authors: 管鴻,李宗育..等
上傳單位Department: 光電工程系
上傳時間Date: 2009-11-27
上傳者Author: 管鴻
審核單位Department: 光電工程系
審核老師Teacher: 管鴻
檔案類型Categories: 研究生論文報告Thesis
關鍵詞Keyword: X 光繞射分析儀(XRD),場發射式電子顯微鏡(FE-SEM)
摘要Abstract: 利用多晶矽薄膜作為晶種並以兩階段退火,製備低溫多晶矽薄膜於太陽能電池,討論其微結構與電性之研究。

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2009_11_f4966a23.ppt 3605Kb ppt 434 1837
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