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標題Title: 物理氣相沉積法製作薄膜支原理與實務上機操作及馬達機油更換
作者Authors: 李友竹,魏文龍..等
上傳單位Department: 機械工程系
上傳時間Date: 2009-11-30
上傳者Author: 李友竹
審核單位Department: 機械工程系
審核老師Teacher: 李友竹
檔案類型Categories: 課堂報告In-class Report
關鍵詞Keyword: 真空泵,薄膜製程技術
摘要Abstract: 薄膜製程技術再陷在許多高科技產業中扮演重要的腳色,如IC製作,面板製作等,而機台有許多地方也都需要使用到真空泵,因此真空泵的保養就顯得重要,所以此實驗乃是為了學生們熟悉PVD之原理與基本操作步驟以及如何更換真空泵之機油,以期學生們能夠比其他人更快的上手,已具備工作上之競爭力。

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2009_11_7b86ef9a.doc 88Kb doc 647 104
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