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標題Title: 小型微/奈米級三次元量測儀
作者Authors: 朱志良
上傳單位Department: 機械工程系
上傳時間Date: 2009-11-30
上傳者Author: 朱志良
審核單位Department: 機械工程系
審核老師Teacher: 朱志良
檔案類型Categories: 文宣Literature
關鍵詞Keyword: 三次元量測儀,雙拱型橋架,三次元量測探頭,奈米定位平台
摘要Abstract: 創新的雙拱型橋架結構搭配自行開發的奈米級三次元量測探頭、創新雙雷射聚焦讀頭光學尺、奈米定位平台、主動式隔振系統(內含自行開發的光學式加速度計),藉由PC進行整合,並以BCB撰寫控制與量測軟體,完成一台小型微/奈米級三次元量測儀。

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