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標題Title: 南台科技大學奈米中心SEM掃描式電子顯微鏡室簡介
作者Authors: 吳忠春
上傳單位Department: 機械工程系
上傳時間Date: 2009-12-2
上傳者Author: 吳忠春
審核單位Department: 機械工程系
審核老師Teacher: 吳忠春
檔案類型Categories: 文宣Literature
關鍵詞Keyword: Hitachi, SEM, H-3000N, EDS, Falcon 60
摘要Abstract: 重要設備:Hitachi 3000N 型掃描式電子顯微鏡一部;Falcon 60 EDS能量散佈元素分析儀一部;Hitachi 鍍金設備一套;電子顯微鏡試片製作設備
重要功能與產業應用 : (1)表面結構觀察:放大倍率30倍到10萬倍; (2)表面成分分析:從硼至鈾元素均可; (3)破損表面觀察與因素鑑定; (4)半導體製程品質管理; (5)生物試片觀察

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2009_12_18829a5b.ppt 1642Kb ppt 583 923
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