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標題Title: 具雷射聚焦探頭與二維影像量測功能之三維量測系統的研製
作者Authors: 張怡婷、高言彰、吳明峻、陳柏鈞
上傳單位Department: 機械工程系
上傳時間Date: 2011-6-3
上傳者Author: 朱志良
審核單位Department: 機械工程系
指導教師Teacher: 朱志良
檔案類型Categories: 畢業論文
關鍵詞Keyword: 光學讀取頭,非接觸式探頭,CCD 攝影機
摘要Abstract: 本專題主要目的是在研製一套三維量測系統,利用市售光碟機(DVD-ROM)內之DVD光學讀取(DVD Pick-up Head),結合CCD(Charge Coupled Device,電荷耦合元件)攝影機研製一套具雷射聚焦探頭與二維影像量測功能之三維量測系統。
在雷射聚焦探頭的量測裝置,則採用市售的DVD光碟機內之光學讀取頭為光路基礎,並改良研製而成的光學式位移感測器,當感測工件表面偏離物鏡聚焦位置時,可經由四象限感測器量測到一S曲線的失焦訊號(Focus Error Signal, FES),並利用S曲線之線性區為參考訊號,當待測物移動時,經由S曲線線性段的FES訊號來量測待測物的表面輪廓變化,進而得知待測物表面高度變化量。所研製的雷射聚焦探頭量測裝置可量6μm的高度變化量,其量測誤差為40nm,亦可稱為準確度可達40nm。
二維影像量測系統則採用CCD攝影機所捕捉的影像經由影像處理卡,將所抓取到的類比訊號轉換成數位訊號。

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