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標題Title: 磁浮傳輸系統-1
作者Authors: 許毅然
上傳單位Department: 電機工程系
上傳時間Date: 2009-11-17
上傳者Author: 許毅然
審核單位Department: 電機工程系
審核老師Teacher: 許毅然
檔案類型Categories: 論文Thesis
關鍵詞Keyword: 半導體,非接觸式,磁力浮起式搬運系統
摘要Abstract: 國內半導體產業發展迅速, 半導體設備幾乎仰賴進口,耗費可觀。
IC製程技術的進步, 潔淨室要求提高。
站與站晶圓傳輸改為自動化 減少人為的污染與晶圓的毀損
無發塵自動搬運系統---非接觸式
空氣浮起式搬運系統
磁力浮起式搬運系統等。


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2009_11_4d8a2688.ppt 40Kb ppt 546 118
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