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標題Title: 氧化鋅薄膜之凝核控制成長與特性改良研究及其在太陽電池的應用
作者Authors: 林克默
上傳單位Department: 機械工程系
上傳時間Date: 2009-11-17
上傳者Author: 林克默
審核單位Department: 機械工程系
審核老師Teacher: 林克默
檔案類型Categories: 專題報告Project Report
關鍵詞Keyword: 氧化鋅
摘要Abstract: 適度的鋁摻雜可提供更多的自由電子增加導電性,但過量鋁摻雜可能導致晶格變形或成為晶界析出物,造成電子傳輸障礙或散射而降低導電性。根據實驗結果:Al/Zn ~ 1.0 at.%為最適鋁摻雜。由於晶粒彼此競爭成長的結果,經由多次覆膜後逐漸呈現較強烈沿c 軸生長的結晶趨勢,隨著晶形的增大可減少晶界而提高導電性。故以溶膠凝膠法製備氧化鋅透明導電薄膜,勢必藉由多層覆膜的動作,才能得到較大的晶粒。本實驗至目前為止最佳試片以 5 層覆膜,溶液濃度為0.5M,Al/Zn = 1.0 at.%,600℃大氣中熱處理,600℃真空熱處理,可得片電阻為182Ω/sq,電阻率為7.08×10-3Ω.cm,穿透率大於80%之透明導電玻璃,已達可製作太陽能晶片透明電極之利用價值。

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