尚未登入 請由此登入
 
 
 










知識分享平台Eshare檢視資訊View
返回前一頁Back
      [檢舉]

標題Title: 寬能隙氧化物薄膜製備與檢測技術之研發
作者Authors: 林克默
上傳單位Department: 機械工程系
上傳時間Date: 2009-11-17
上傳者Author: 林克默
審核單位Department: 機械工程系
審核老師Teacher: 林克默
檔案類型Categories: 專題報告Project Report
關鍵詞Keyword: 氧化物
摘要Abstract: 本研究開發新建立一套藉由溶膠-凝膠法製備透明導電薄膜之製程技術,相較於濺鍍或其他方法,更有低設備成本與低材料成本之優點。本研究發現製程二比製程一有較好的薄膜品質而使用康寧玻璃1737 片電阻值遠低於矽晶圓基板。本實驗至目前為止最佳試片以15 層覆膜, 溶液濃度為0.3M,Al/Zn = 1at.%,pH 值7.4,600℃大氣中熱處理,600℃真空熱處理,可得片電阻為 64Ω/sq,電阻率為2.89×10-3Ωcm,穿透率大於85%之透明導電玻璃,已達可製作太陽能晶片透明電極之利用價值。

檔案名稱
FileName
檔案大小
Size
檔案格式
Format
瀏覽次數
Browses
下載次數
Downloads
2009_11_04e6c7ae.pdf 544Kb pdf 615 433
文件中檔案:
 

開啟檔案Download
 
 
返回前一頁