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標題Title: 掃描式電子顯微鏡介紹
作者Authors: 張祐瑄
上傳單位Department: 機械工程系
上傳時間Date: 2011-12-29
上傳者Author: 張祐瑄
審核單位Department: 機械工程系
審核老師Teacher: 朱志良
檔案類型Categories: 課堂報告In-class Report
關鍵詞Keyword: SEM
摘要Abstract: 電子鎗透過熱游離原理產生高能電子束,經過電磁透鏡組後,可以將電子束聚焦至試片上,利用掃瞄線圈偏折電子束,在試片表面上做二度空間的掃瞄。當電子束與試片作用時,會產生各種不同的訊號,如二次電子、背向散射電子、吸收電子、歐傑電子、特徵X光...等。

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2011_12_75f3fc85.ppt 1688Kb ppt 244 36
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