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標題Title: 微奈米量測:OM光學顯微鏡
作者Authors: 王者璿
上傳單位Department: 機械工程系
上傳時間Date: 2011-12-30
上傳者Author: 王者璿
審核單位Department: 機械工程系
審核老師Teacher: 朱志良
檔案類型Categories: 課堂報告In-class Report
關鍵詞Keyword: OM光學顯微鏡,Antony van Leeuwenhoek
摘要Abstract: 光學顯微鏡放大倍率及解析度可以觀察(1)元件橫截面結構觀察;(2)平面式去層次結構分析與觀察;(3)析出物空乏區的觀察;(4)差排線與過蝕刻凹痕的觀察;(5)氧化疊差的研究等。

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2011_12_92f1749b.ppt 520Kb ppt 1395 175
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