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標題Title: 微奈米量測PTT報告-SEM
作者Authors: 許祐銨
上傳單位Department: 機械工程系
上傳時間Date: 2011-12-30
上傳者Author: 許祐銨
審核單位Department: 機械工程系
審核老師Teacher: 朱志良
檔案類型Categories: 課堂報告In-class Report
關鍵詞Keyword: SEM
摘要Abstract: 為滿足對微觀世界觀察之渴望,礙於光學顯微鏡解析度只能到300nm左右。而發展出利用電磁透鏡聚焦電子產生放大作用的技術,來觀察奈米結構與表面相貌。

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2011_12_24ccd33d.ppt 1008Kb ppt 180 94
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